扩散泵:以低压高速蒸汽流(油或等蒸汽)作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,这种泵适于在分子流状态下工作。可分为:① 自净化扩散泵:泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵:这种泵具有分馏装置,使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴,而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。
旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有结构紧凑,体积小,重量轻,噪音低,振动小等优点。所以,它适用于作扩散泵的前级泵,而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如:质谱仪器,冰箱流水线,真空冷冻干燥机等。
罗茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一种旋转式变容真空泵,须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内,有较大的抽速,对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵,需要用前级泵辅助。如:水环式真空泵,滑阀真空泵,立式无油真空泵,分子真空泵等。国内罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。
水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点结构简单,制造精度要求不高,容易加工。结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。
真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入,增加和效率下降阀片,经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上,上部摆开一个角度,被扭曲成“S”形,经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题,阀片中间应力过于集中,加快了其他部件的疲劳和破坏程度,减少了设备使用寿命,导致阀片从中间部分出现断裂情况,影响正常使用。
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