机械选择 ⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
干泵;国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。
水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点结构简单，制造精度要求不高，容易加工。结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。
无油真空泵效果(1)由于轴流风机转速高，风压风量大，冷却效果大大增强，在相同的环境温度、负荷电流下，主电机温度下降了12℃。夏季主电机温度未再超限。(2)轴流风机可人为控制，主电机停运后，轴流风机仍可运行，可以使主电机得到充分冷却。(3)尽量使2段母线负荷分配平衡，以防某段母线因负荷过重造成电压下降过多。(4)电压调整后，真空泵运行电流降为210A，发热量相对减小。(5)减缓了主电机的绝缘老化速度，延长了其使用寿命。
以上信息由专业从事无油真空泵的陕西屹达于2024/4/14 12:38:22发布
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